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工業(yè)型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM◆ 實(shí)現(xiàn)樣品保持不動(dòng),探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡;◆ 采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測(cè);◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì),大理石底座,真空吸附式載物臺(tái);◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺(tái),快速選擇感興趣的樣品區(qū)域;◆ 高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)探針
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